no-img
ام ای پدیا

دانلود سمینار روش هاي لايه نشاني و دستگاه هاي آناليز فيلم هاي نازك لايه نشاني شده


ام ای پدیا

ادامه مطلب

DOC
دانلود سمینار روش های لایه نشانی و دستگاه های آنالیز فیلم های نازک لایه نشانی شده
doc
اردیبهشت ۱۷, ۱۳۹۶
هر صفحه 125 تومان
تعداد صفحات: 16 صفحه
۲,۰۰۰ تومان
۲,۰۰۰ تومان – خرید

دانلود سمینار روش های لایه نشانی و دستگاه های آنالیز فیلم های نازک لایه نشانی شده


دانلود سمینار روش های لایه نشانی و دستگاه های آنالیز فیلم های نازک لایه نشانی شده

فرمت قابل ویرایش ورد  Word

تعداد صفحات: ۱۶ صفحه

خلاصه ای از فایل

کندوپاش

زمانی که یک پرتوی یونی، الکترونی و یا نوری با انرژی کافی بر سطح جامد فرود آید، اتم های تشکیل دهنده جسم از سطح آن آزاد شده و در فضا پراکنده می شوند که این پدیده به کندوپاش مرسوم است. این پدیده برای اولین بار در سطح داخلی ظرفی که در آن تخلیه الکتریکی شده است و در کوره های گداخت هسته ای به عنوان پدیده ای نامطلوب که سبب سرد شدن پلاسما می شود، مشاهده شده است. با این حال از پدیده کندوپاش به عنوان یک رو    ش پر مزیت برای ساختن لایه های نازک در صنایع الکترونیک و صنایع فلزی استفاده می شود. پدیده کندوپاش به نوع و انرژی ذره های برخورد کننده به سطح، مواد متشکله سطح و زاویه برخورد ذره با سطح در ارتباط مستقیم است. در رابطه با نوع و انرژی یون فرودی در منطقه برخورد، سه حالت وجود دارد که عبارتند از:

× تک برخورد (Single knock on)

× خطی (Linear)

× میخی (Spike)

وقتی ذره فرودی یون سبک باشد انرژی آن برای بوجود آوردن برخوردهای پیاپی کافی نبوده و حالت تک برخورد اتفاق می افتد. وقتی انرژی یون فرودی برای بوجود آوردن برخوردهای پیاپی نسبتاً کافی باشد بر اثر برخورد به سطح، برخی از اتم های نزدیک سطح به حرکت در می آیند ولی برخورد اتم‌های داخلی قابل چشم پوشی است که این نوع پراکنش را خطی گویند.

فهرست

برخی روش‌های لایه نشانی

 کندوپاش

 کندوپاش به‌وسیله پلاسما

 کندوپاش پرتو یونی

 روش تبخیر فیزیکی (PVD)

 روش تبخیر شیمیایی (CVD)

 روش تبخیر گرمایی

 لایه‌نشانی به‌وسیله پلاسمای کانونی

 برخی دستگاه‌های آنالیز جهت بررسی فیلم‌های نازک لایه‌نشانی شده

 میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)

الکترون‌های بازگشتی

الکترون‌های ثانویه

الکترون‌های اوژه

 میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM)

 دستگاه پراش پرتوی ایکس (XRD)



موضوعات :
فیزیک

مطالب مرتبط


دیدگاه ها


پاسخ دهید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *